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一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、 PFA 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
三、测试仪器
1.支架
2.铅垂线
3.Flo-Viz细线
4 .气流流向检测仪
四、测试步骤
1.用支架设立垂线作为基准线。
2.将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角 =tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。