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高校过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认： 1. 滤网的材料无破损， 2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有： 1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 全效率测试法， 4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
二、方法
1.气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
2.微粒计数器测试法
半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可
PAO/DOP过滤器检漏
一. 说明
气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
二. 测试仪器
本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次（光度计可用用英国DOP Solutions 品牌）。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正（气溶胶发生器通常用英国DOP Solutions 品牌的气溶胶发生器）。
气溶胶发生器：
光度计:
三. 测试方式
滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下
1.在图面上记录滤网数量并编号。
2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。
3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。
4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确。
5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测。
DOP Solutions成立于1988年，是享誉全球的高效和超高效检漏测试装置的供应商，20多年来一直走在高效检漏测试前沿。DOP Solutions所提供的配件和高效过滤器测试装置在全球各行各业顾客的不断支持下成为了这个行业的标杆。
在2012年，SUYAN获得了英国DOP Solutions中国区独家代理权；我们为您引进了目前全球最先进的整套DOP高效检漏设备（For ALL your HEPA Filter Testing Requirements）,其中主要包括了SP200DAS型气溶胶光度计；SPG-300型气动式气溶胶发生器；DOP2200型热气溶胶发生器；及其相应的附件和配套设备。
